所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：OPC（光学临近校正）方法强化三维特征，提升光刻工艺的精度和效果。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：创新的聚焦型垂直光栅耦合器，实现高效率的光耦合，适用于高密度光电子集成。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：实时在线测量系统，用于纳米半导体制造过程中的多参数监控。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：逆压电效应调制微环光通信滤波器，实现光信号的精确处理。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：单片集成技术制造三基色Micro-LED芯片，提升显示性能和生产效率。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：低成本的激光模板光刻装置，实现亚微米级精度的光刻，推动微纳制造技术发展。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：三维扇出封装技术，提高芯片集成度和信号传输效率，用于先进半导体封装。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：同轴双环TSV结构，降低热应力同时保持高电性能，适用于高性能集成电路。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：基于SOI（硅上的绝缘体）技术的兰姆波声光调制器，用于高速光通信系统。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：创新的多色混合Micro-LED芯片技术，提供高亮度、低能耗的显示和照明解决方案。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：柔性微压力传感器，具有出色的灵敏度和快速响应特性，适用于精密压力测量。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：利用喷墨打印技术制作的柔性湿度传感器，实现低成本、高效率的制造过程。