所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：飞秒激光技术实现对透光物体超快温度测量，用于材料热特性分析。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：飞秒激光技术用于制备柔性传感器，用于精准捕捉人体运动数据。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：DRIE（深反应离子刻蚀）工艺误差监测，确保半导体制造过程中的精度控制。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：OPC（光学临近校正）方法强化三维特征，提升光刻工艺的精度和效果。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：创新的聚焦型垂直光栅耦合器，实现高效率的光耦合，适用于高密度光电子集成。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：实时在线测量系统，用于纳米半导体制造过程中的多参数监控。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：逆压电效应调制微环光通信滤波器，实现光信号的精确处理。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：单片集成技术制造三基色Micro-LED芯片，提升显示性能和生产效率。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：低成本的激光模板光刻装置，实现亚微米级精度的光刻，推动微纳制造技术发展。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：三维扇出封装技术，提高芯片集成度和信号传输效率，用于先进半导体封装。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：同轴双环TSV结构，降低热应力同时保持高电性能，适用于高性能集成电路。

所属分类：电子信息产业

所属单位：武汉大学

成果简介：基于SOI（硅上的绝缘体）技术的兰姆波声光调制器，用于高速光通信系统。