8-12英寸集成电路硅衬底抛光液

所属分类：电子信息产业

所属单位：河北工业大学

联系人：-

联系方式：0951-6087161/5020588

所在地：

成果简介

2009年国务院批准由河北工业大学承担国家02重大专项前瞻性应用示范项目“极大规模集成电路平坦化工艺与材料”,此项目是第一个由地方院校承担的国家02重大专项项目,国拨资金3265万元。硅衬底抛光液作为主要研究成果之一,在中芯国际(上海)、中芯国际(深圳)已取代美国Dow公司NP8040(精抛光液)与NP6502(粗抛光液)两款产品;同时,8英寸、6英寸硅衬底化学机械抛光液在无锡华润微电子有限公司、江阴新顺微电子有限公司已取代日本日立公司产品。

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