一种基于直角反射镜组的精密位移传感器

所属分类：电子信息产业

所属单位：北方民族大学

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成果简介

本实用新型涉及一种基于直角反射镜组的精密位移传感器，所述精密位移传感器包括有激光源，用于发射出激光束，且所述激光束入射至第一反射镜组的反射镜一；反射镜二，用于接收反射镜一反射的激光束，且使接收的激光束反射至反射镜三或光电探测器；反射镜三用于接收反射镜二反射的激光束，且使接收的激光束反射至反射镜四；光电探测器，用于接收经反射镜二反射且不再被反射镜三接收的激光束，并测量其入射位置；处理系统，用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量，计算出被测物体的位移变化值。该传感器结构简单，测量精度高，便于批量生产。

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