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基于硅基光学微腔的芯片集成传感器

所属分类:电子信息产业

所属单位:西安交通大学

联系人:-

联系方式:0951-6087161/5020588

所在地:

成果简介

早在19世纪,英国著名科学家瑞利勋爵(Lord Rayleigh)首次使用“耳语廊模式”也称为“回音壁模式”一词来描述声波在圣保罗大教堂的圆顶中的传播原理。回音壁波模式也用来描述任何在凹面周围传播的波的影响。本项目基于回音壁模式声学腔原理提出一种回音壁模式光学微腔结构并应用于高端传感领域,由于电磁波在从光密介质向光疏介质传播时会发生全反射现象,当光线沿着几何结构边界内壁传播时会发生连续的全反射,光束被约束在环形边界上,从而产生类似的回音壁现象。若光東绕几何结构边界行走一圈的光程满足波长的整数倍时,会产生干涉加强现象即共振现象,其中用来约束光场的环形结构即被称为回音壁模式光学微腔。回音壁模式光学微腔广泛用于纳米尺度颗粒物检测以及各种微腔环境物理参数传感,如温度、磁场、气体、应力以及陀螺仪等。相比传统技术路线传感器,光学微腔传感器将开创超敏感光学微腔传感器领域,

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