一种跟踪式位移传感器

所属分类：电子信息产业

所属单位：北方民族大学

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成果简介

本实用新型提供了一种跟踪式位移传感器，该跟踪式位移传感器包括：反射镜一，用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且使该激光束在测量过程中沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面；驱动器一，用于带动光电探测器一运动，使得第二反射面反射的激光束入射至光电探测器一的位置在激光束一入射至同一个第一反射面的测量过程中保持不变；处理系统，用于根据光电探测器一在驱动器一提供的运动方向上的运动距离，光电探测器一在驱动器一提供的运动方向与入射至光电探测器一的激光束的夹角，及驱动器一提供的运动方向与被测物体移动方向的锐角夹角计算出被测物体的位移变化值。本实用新型可以提高位移传感器的测量精度。

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