一种提高测量精度的激光干涉仪

所属分类：电子信息产业

所属单位：北方民族大学

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成果简介

本实用新型涉及一种提高测量精度的激光干涉仪，包括读数头、以及分别设置在读数头两侧的第一固定直角反射镜组、第二固定直角反射镜组，所述第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组镜像对称设置，所述读数头包括激光源、分光镜、反射镜、移动直角反射镜组、聚光透镜、光电探测器。反射激光和透射激光这两路激光束经聚光透镜入射至光电探测器后发生干涉，光电探测器对干涉现象进行检测即可获得读数头对于第一固定直角反射镜组和第二固定直角反射镜组的相对位移量；读数头在移动时，干涉激光实现了差分效果，两束激光束的光程差产生变化，提高了干涉激光光程差的放大倍数，从而提高了激光干涉仪的干涉位移测量精度。

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