分子泵用全国产化驱动控制系统

所属分类：电子信息产业

所属单位：山东理工大学

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联系方式：0951-6087161 /5020588

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成果简介

分子泵是半导体制造过程中的关键装备，在半导体生产过程中分子泵与真空泵配合使用以达到更高的真空等级。目前团队掌握10万转每分钟及以上转速的分子泵驱动控制系统的技术，并且实现全国产化，相关技术已经在骨科手术动力系统中得以产业化和小批量生产。该驱动系统的核心技术有高速永磁电机的设计、生产和工艺；以及高速轴承系统的应用；控制系统的高基波频率控制技术，以及器件级、板级、系统级的软硬件全国产化。

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