基于光电探测器阵列的位移传感器

所属分类：电子信息产业

所属单位：北方民族大学

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成果简介

本实用新型提供了一种基于光电探测器阵列的位移传感器，包括：反射镜一，用于接收激光束一被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束，且使其沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面；光偏转器一，用于使接收到的激光束的入射角度在设定角度区间内偏转；光电探测器一阵列，包括多个光电探测器一，多个光电探测器一之间间隔设置，光电探测器一用于接收经光偏转器一偏转后的激光束；处理系统，用于根据光电探测器一接收到激光束的时间、光电探测器一与光偏转器一的垂直距离、光电探测器一之间的间距、及光偏转器一的偏转速度，计算出被测物体的位移变化值。本实用新型可以提高位移传感器的测量精度。

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