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一种激光干涉仪

所属分类:电子信息产业

所属单位:北方民族大学

联系人:-

联系方式:0951-6087161/5020588

所在地:

成果简介

本实用新型涉及一种激光干涉仪,包括:激光源,用于发射激光束一,且激光束一入射至分光镜;可随被测物体同步移动的移动反射镜,包括至少两个三角反射镜组二,所述至少两个三角反射镜组二沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布;静止反射镜,包括至少一个三角反射镜组三,所述至少一个三角反射镜组三沿被测物体的移动方向的垂直方向依次分布;经三角反射镜组一反射的激光束二与经三角反射镜组二反射的激光束三分别入射至分光镜,形成干涉光束。通过激光束三在多组三角反射镜组二与三角反射镜组三之间的往复反射,提高了被测物在同位移量下光程变化量,增大了干涉信号变化量,提高了位移放大倍数,从而提高了位移检测精度。

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