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一种精密位移传感器

所属分类:电子信息产业

所属单位:北方民族大学

联系人:-

联系方式:0951-6087161/5020588

所在地:

成果简介

本实用新型涉及一种精密位移传感器,其位移传感器包括至少两个第一反射镜组,每个第一反射镜组包括反射镜一与反射镜二,所述至少两个第一反射镜组沿移动方向依次分布;激光源,用于发射出激光束;所述反射镜一,用于接收激光源射出的激光束,且使激光束反射至反射镜二,或用于接收反射镜二反射的激光源射出的激光束,且使得激光束反射至光电探测器二;所述反射镜二,用于接收激光源射出的激光束,且使激光束反射至反射镜一,或用于接收反射镜一反射的激光源射出的激光束,且使得激光束反射至光电探测器一。该传感器结构简单,测量精度高,便于批量生产。

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