根据技术路线,激光雷达可分为机械式(Mechanica1)、半固态(Quasi-Solid-State)和固态(Solid-State)三类。机械式激光雷达通过旋转或摇摆发射器或接收器来实现扫描，具有成熟稳定、性能优异的特点，但体积大、成本高、装配难度大。半固态激光雷达通过微振镜(MEMS)或棱镜来实现扫描，具有体积小、成本低、可靠性高的特点，但性能相对较差。固态激光雷达通过光学相控阵(0PA)或闪光(FLASH)来实现扫描，具有无机械运动部件、性能稳定的特点，但技术难度大、成本高，
全固态iTOF(间接飞行时间)阵列激光雷达微系统是一种集成了先进激光技术和电子技术的微系统。它基于iToF原理，通过激光器发射一束焦平面激光，照射到被测物体后返回到接收芯片，接收芯片通过计算光束往返飞行时间，从而得到接收芯片到被测物体的距离信息。全固态设计意味着该微系统采用了无机械运动的固态器件，从而提高了系统的可靠性、稳定性和寿命。
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