一种激光干涉位移测量装置

所属分类：电子信息产业

所属单位：北方民族大学

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成果简介

本实用新型涉及一种激光干涉位移测量装置，包括读数头、三角波反射镜，所述读数头包括激光源、第一分光镜、第二分光镜、分光棱镜、第一光电探测器、聚光透镜、第二光电探测器、处理器。本实用新型加入分光棱镜和第一光电探测器，避免在测量过程中，激光束的波长因环境等因素发生变化而导致最终测量结果的偏差，对激光束波长的变化进行补偿；本方案使用简单的光学器件，以及利用激光干涉原理，完成对被测物体的位移量测量工作，在保证了测量精度的情况下，还简化了装置的复杂性。

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