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单晶硅制备材料石英坩埚视觉智检平台开发与应用

所属分类:电子信息产业

所属单位:西安科技大学

联系人:-

联系方式:0951-6087161 /5020588

所在地:

成果简介

该技术的应用方向是为单晶硅制造企业、智能检测设备制造商提供产品输出,主要解决新能源制备材料产业中石英坩埚质量智能出厂检测问题。项目实现了从实验室高精度显微镜检测到工业现场检测的转变,不再依赖人工目视检测。该技术从透明层气泡检测与计数问题、透明层层厚测量以及坩埚表面缺陷检测三个方面入手,构建基于石英坩埚单晶硅微特征的视觉检测系统。该技术从石英坩埚视觉检测系统设备选型到检测算法的优化,一方面解决了企业的难题,另一方面储备了技术优势,为使其广泛适用于工业检测。相关研究成果被多家权威数据库收录,发表相关论文二十余篇,研究成果有两篇被SCI、EI共同收录,三篇被SCI收录,其余均被北大中文核心收录。目前团队与多家企业保持着技术开发合作关系,视觉检测技术与石英坩埚全检平台得到合作企业的认可。正与多家企业或单位进行着合作,并为企业或单位带来3000万以上的经济效益。平台技术后续发展潜力巨大,在制定新标准、推广国内40家坩埚厂优势明显。并在培养人才,解决就业方面意义深远。团队依托高校,紧跟秦创原创新驱动平台创办了高新技术企业。励志为我省的科研工作做出贡献。团队目前包括教授、副教授、高级工程师、在校硕士研究生、本科等组成,梯队合理,工作时间有保证。团队针对新能源石英坩埚外观、晶体透明层气泡计数技术展开攻关,已取得重大突破。已形成以第一代人工手持采集为基本面,二代智能整装检测线为核心点的产品布局。

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