随着无线通信技术的快速发展，低频段通信信道变得越发拥挤，进而引发对高频段通信频段的研究。随着频率的增高，传输结构的损耗问题变得越发凸显，因此需要设计大量新颖的、高性能的射频器件。以滤波器为代表的射频前端器件的性能特性得到广泛的关注。微带线具有尺寸小的特点，但是波导的品质因数更高。而基片集成波导作为综合微带线尺寸小和波导品质因数高的新型滤波器，受到国内外滤波器研究人员的深入研究。
基片集成波导传输结构的尺寸跟衬底材料的介电常数具有很大的关系，因为波长与相对介电常数成反比。目前大部分采用相对常数为2.2的介质基板设计基片集成波导滤波器，随着毫米波通信技术的发展，毫米波的特点被不断地发现,因此，需要提出一种针对U波段进行滤波的滤波器。
本发明公开了一种基于TSV的超紧凑宽阻带U波段SIW滤波器,包括沿水平方向平行设置的上层RDL和下层RDL,上层RDL与下层RDL之间设有硅衬底,硅衬底上分布有三个依次相邻的由TSV构成的谐振腔,上层RDL的相对两侧分别设有输入RDL端口和输出RDL端口。本发明采用直接耦合的拓扑结构,能够实现三阶基片集成。