电池片扩散工艺的磷源传输装置以及包含其的温度控制系统

所属分类：电子信息产业

所属单位：宁夏大学

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成果简介

本实用新型提供了一种电池片扩散工艺的磷源传输装置以及包含其的温度控制系统，涉及太阳能电池技术领域。上述电池片扩散工艺的磷源传输装置包括磷源携源管、热气流进气管、热气流出气管和隔热包覆材料；所述隔热包覆材料包覆磷源携源管、热气流进气管和热气流出气管，形成磷源传输管路；其中，所述热气流进气管和热气流出气管通过调整热气流的流量，进而调节磷源携源管中磷源的温度。上述磷源传输装置通过热气流进气管和热气流出气管的设置可以有效调节磷源携源管中磷源的温度，进而对硅片表面的温度进行控制。

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