一种差分式位移传感器

所属分类：电子信息产业

所属单位：北方民族大学

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成果简介

本实用新型提供了一种差分式位移传感器，该差分式位移传感器包括激光束一；分光镜组一，包括分光镜一和反光镜二，且分光镜一和反光镜二呈一定夹角设置，且使得三角波反射镜的反射面反射的激光束入射至分光镜一，一部分激光束先后经分光镜一和反光镜二反射后入射至其中一个光电探测器一，另一部分激光束经分光镜一透射后入射至另一个光电探测器一；处理系统，用于根据光电探测器一接收到的激光束一的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。本实用新型差分式位移传感器，通过分光镜组一的设置，当三角波反射面的存在加工误差时，可以使得整个传感器的综合放大倍数保持一致，可靠地保障了传感器的测量精度。

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