极大规模集成电路平坦化工艺与材料

所属分类：电子信息产业

所属单位：河北工业大学

联系人：-

联系方式：0951-6087161/5020588

所在地：

成果简介

按照国家要求把“原始创新、技术先进、适于工业规模应用”的国家科技发展中长期规划02专项(编号:2009ZX02308)技术成果进行开发应用。形成“高稳定性、安全、绿色环保、颠覆金属离子控制”的全国产辅料产品,具有环保、稳定性、金属离子、产业链安全等颠覆性创新。通过了创新中心应用的55nm集成电路产线中试测试,多项重要参数优于国际上的Cabot、Fujimi等产品,整机良率达98~99%,供给ETC检测、智能手机摄像头等终端客户使用无异常;技术成熟程度可以在芯片制造业大规模应用。通过中国电子协会鉴定,意见为“原始创新,整体水平国际先进,部分指标国际领先”。

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