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白光干涉仪(光学轮廓仪)

所属分类:电子信息产业

所属单位:西安交通大学

联系人:-

联系方式:0951-6087161/5020588

所在地:

成果简介

Xshape-1 系列白光干涉仪是一款完全国产化的高端光学无损 3D 检测仪器,针对微纳结构、几何关键尺寸、粗糙度和表面轮廓等。仪器测量范围能实现从超光滑表面粗糙度到200um的台阶;表面反射率从0.5%99.9%的样品均可适用;满足212英寸硅片或晶圆等的无损检测。

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