一种半导体应变片落尘监测装置及方法

所属分类：电子信息产业

所属单位：中国矿业大学

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联系方式：0951-6087161/5020588

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成果简介

装置：壳体顶板的中心开设有粉尘沉降口，并设有腔室盖；落尘监测腔室设置在壳体的内部，其上开口端与粉尘沉降口相互连通；落尘监测腔室的左侧板底部开设有腔室连通孔，并设有腔室通断控制装置；落尘监测腔室的右侧板下部设有供伸缩杆滑动通过的导向通孔，并利用直线伸缩机构驱动刮板滑动；落尘监测腔室底板中心安装有柔性基底，半导体应变片安装在柔性基底的下部；落尘收集腔室在壳体的内部，其底板中心装配有落尘质量天平，其右侧上部开设有粉尘进料缺口。就去：打开腔室盖进行监测作业；利用半导体应变片实时采集柔性基底的应变量信号，并获得落尘质量。该装置及方法能够有利于实现落尘监测的自动化作业。

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