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长寿命MEMS氢气传感器

所属分类:电子信息产业

所属单位:杭州电子科技大学

联系人:-

联系方式:0951-6087161 /5020588

所在地:

成果简介

低功耗MEMS氢气传感器,电阻型传感器,工作原理简单,体积小、功耗低(20-30mW)。采用新型合金催化型金属氧化物做气敏材料和特殊的气敏层粘合集成工艺,响应时间5s以内,寿命长达5-10年,抗度干扰能力强。

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