交易价格： 面议
类型： 非专利
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成果简介 准分子激光最重要的应用包括： 1. 半导体集成电路光刻技术,它是近二十年来推动半导体行业按摩尔定律发展的重要因素; 2. 高性能平板显示制造中的准分子激光退火技术; 3. 高端科研设备; 4. 高端医疗仪器。 衡量准分子激光技术水平的标志是准分子激光的核心技术：高重频、高功率、高稳定性;而准分子激光先进仪器和高端装备的开发能力是准分子激光应用水平的体现。 针对上述核心技术和重要应用,中国科学院合肥物质科学研究院安徽光学精密机械研究所在国家科技重大专项、国家重大科研仪器研制、国家科技攻关项目、中国科学院科研装备研制项目、安徽省重点研发计划攻关项目、安徽省对外科技合作项目等项目的支持下,在准分子激光核心技术及准分子激光先进仪器和高端装备应用开发方面取得重要突破。 成果的主要内容如下： 1.高重频准分子激光技术：研发成功国内首套MOPA构架的准分子激光全固态脉冲放电激励系统。 在高重复频率、多级数磁压缩、精确同步控制等核心技术上取得突破,创新设计并研制出国内首套4kHz MOPA构架准分子激光器的全固态脉冲放电激励系统,实现了全固态脉冲放电激励系统与光刻机整机集成并稳定工作,解决了集成电路光刻用准分子激光高重频和长寿命难题。 2.高功率准分子激光技术：突破了工业级高功率准分子激光器的技术瓶颈。 研究开发了激光腔体的大面积均匀放电电场控制技术、激光气体的高速流场设计技术、激光腔体的材料优化及自清洁系统技术等多项具有自主知识产权的创新技术,发明了磁脉冲压缩技术辅助多闸流管开关的时序控制技术,解决了工业级准分子激光大功率输出的瓶颈问题,在此基础上研制的国内最高水平的工业级准分子激光器,氯化氙准分子激光输出达到109.6瓦,实现百瓦级紫外激光输出突破。 3. 高稳定性准分子激光技术：实现了准分子激光输出能量精确稳定控制。 研究开发了具有自主知识产权的高精度电压控制技术,发明了一种电压可控的精密泄放电路技术,研制了电压精确可控的谐振式电源,并提出一种优化的脉冲能量控制算法,实现了准分子激光输出能量精确稳定控制,输出能量稳定性达到3σ＜3.5%。保证了半导体光刻、平板显示制造、高端科研仪器和激光医疗等应用对准分子激光输出能量稳定性和精确可控的要求。 4. 先进仪器和高端装备的开发：研制开发了一系列先进仪器和高端装备。 应用上述具有自主知识产权的创新技术,针对国家重大战略需求和市场需要,研制开发了光刻机光源的激励电源和控制系统、平板显示制造的低温多晶硅退火设备、308nm准分子激光白癜风皮肤治疗仪、准分子激光剥蚀等离子体质谱与光谱分析仪等先进仪器和高端装备,指标达到国际先进水平。 在准分子激光核心技术方面申请发明专利24项,其中已授权10项,发表论文近50篇,培养准分子激光相关高端技术人才50余人,大幅提高了我国在先进激光器和高端装备研制方面的实力和国际影响力。
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