技术简介： 本发明实施例公开了一种直接自适应控制方法及装置，解决了非线性系统中存在的死区和故障非线性的技术问题，对存在非线性实现有效补偿，最终保证了系统运行的稳定性和良好的跟踪性能。本发明实施…… 查看详细 >
技术简介： 本发明提供一种基于李雅普诺夫模型的超声波电机自适应控制系统，通过在闭环比例控制器和超声波电机模型之间增设一辅助控制器，该辅助控制器与超声波电机模型串联组成广义被控对象，参考模型的动…… 查看详细 >
技术简介： 本发明是一种船舶及石油平台动力定位系统的推力分配方法。包括如下步骤步骤一推进器推进角的确定；步骤二求取结构矩阵；步骤三伪逆算法求推力分配；步骤四推力限幅确定。本发明实现了船舶及石油…… 查看详细 >
技术简介： 本发明是一种基于逆系统和内模控制的船舶动力定位控制方法。包括如下步骤1）建立船舶运动系统数学模型；2）构造关于船舶的伪线性系统；3）设计内环的内模控制器；4）计算速度环控制系统的参考模…… 查看详细 >
技术简介： 本发明是一种压电陶瓷驱动器的自适应学习控制方法。包括如下步骤1）建立压电陶瓷驱动器的动态迟滞模型，设计人工神经网络与PID结合的控制方法；2）采用强化学习算法在线实现PID参数的自适应整定…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种高速机构减小残余振动的S型运动曲线规划方法，该高速机构减小残余振动的S型运动曲线规划方法包括以下步骤根据S型运动曲线的定义，运动分为以急动度G1进行的加加运动速段T1；以…… 查看详细 >
技术简介： 本发明涉及一种基于神经网络的纯碱碳化工艺控制系统及其控制方法，包括神经网络控制器、神经网络辨识器、模型库、微粒群优化器、数据采集通道和碳化塔；数据采集通道实时采集碳化塔的工艺参数值…… 查看详细 >
技术简介： 本实用新型公开了一种焦点探测侧面式光刻焦面位置的检测装置，包括光源、竖直设在硅片侧面且与硅片垂直的定标板，以及设在光源和定标板之间且用于将光源产生的光线聚焦在定标板上的镜组，还包括…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开了一种焦点探测侧面式光刻焦面位置的检测装置，包括光源、竖直设在硅片侧面且与硅片垂直的定标板，以及设在光源和定标板之间且用于将光源产生的光线聚焦在定标板上的镜组，还包括用于…… 查看详细 >
技术简介： 本发明公开一种用于增强光刻分辨率的离轴照明结构和光刻系统，用于增强光刻分辨率的离轴照明结构包括依次设置的反射镜、聚光透镜、掩膜板和投影透镜，还包设置在反光镜与掩膜板之间的相位图形片…… 查看详细 >
技术简介： 本发明涉及一种大面积数字光刻光学系统。包括照明光学系统、数字微反射镜拼接中继系统和投影光学系统，照明光学系统包括半导体激光器、聚焦透镜、光纤均束器、扩束准直透镜组、平面反射镜；数字…… 查看详细 >
技术简介： 本发明是一种大面积投影光刻系统及其对准方法。本发明大面积投影光刻系统，包括准分子激光器、照明系统、平移台、掩模板、投影系统、硅片基板，其中掩模板及硅片基板分别装设在平移台的两端，准…… 查看详细 >
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