交易价格： 面议
类型： 发明专利
技术成熟度： 正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201710257013.0
交易方式： 完全转让 许可转让 技术入股
联系人： 厦门立德软件公司
所在地：浙江厦门市
本发明公开一种用于增强光刻分辨率的离轴照明结构和光刻系统，用于增强光刻分辨率的离轴照明结构包括依次设置的反射镜、聚光透镜、掩膜板和投影透镜，还包设置在反光镜与掩膜板之间的相位图形片，相位图形片包括同一圆内的多个相邻夹角相等且圆心角相等的极边扇形，极边扇形被多个同心圆分割为多个间距成等差级数的曲边照明极块，入射光束经过反射镜反射到相位图形片后偏离主光轴产生一个倾角后，透射过掩膜板的图形的零级和一级衍射光经过投影透镜在晶圆片的光刻胶上形成干涉图案。通过将相位图形片的极边扇形分割为多个曲边照明极块，增加了照明极的数量，获得具有环形和极边照明的双重特征，增强了光刻分辨率，提高了焦深。
Copyright © 2018 宁夏回族自治区生产力促进中心 版权所有 宁ICP备11000235号-3 宁公网安备 64010402000776号
网站访问量： 网站在线人数：0 技术支持：科易网 
APP下载
微信公众号
