[00324426]一种高精密的光栅位移测量装置

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201310318824.9

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：厦门立德软件公司

所在地：浙江

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明是一种高精密的光栅位移测量装置。包括有由反射光栅尺、第一光学放大系统、第二光学放大系统、FPGA驱动单元、第一CMOS阵列和第二CMOS阵列，反射光栅尺的增量码由第一光学放大系统放大，反射光栅尺的绝对码由第二光学放大系统放大，FPGA驱动单元驱动第一CMOS阵列和第二CMOS阵列采集两路光形成两张图像，对绝对码图像处理解码出一个光栅尺的绝对位置距离，对增量码的处理进一步计算出一个误差的增量距离，这两个距离加在一起最终得到一个CMOS阵列中心相对光栅尺的一个高精确的距离。本发明通过宏微复合的方法实现高精度位移测量，其分辨力可以到达纳米级。

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