[00315679]一种在硅圆片上单片集成的微型光谱仪及其制作方法
交易价格：
面议
类型：
发明专利
技术成熟度：
正在研发
专利所属地：中国
专利号：CN201710627660.6
交易方式：
完全转让
许可转让
技术入股
联系人：
华东师范大学
所在地：上海上海市
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-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
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技术详细介绍
摘要：本发明公开了一种在硅圆片上单片集成的微型光谱仪，其特点是采用硅片刻蚀及沉积金属工艺将色散系统和红外传感器集成在单片硅片上，实现光路与红外探测集成和兼容的光学结构，使入射光在硅圆片平面方向进入，经色散系统分光后到达红外传感器进行红外光的探测，其制作方法包括刻蚀传感器凹槽后依次沉积氧化硅、氮化硅、钛和铝层并图形化，然后释放形成色散系统和红外探测器结构。本发明与现有技术相比在单片硅片上实现了折叠切尔尼‑特纳结构，并在同一硅片上与光学传感器集成，光线沿硅片平面方向入射，避免了光线垂直入射，较好的解决了透射光栅零级条纹不可用等缺点，解决了普通微型光谱仪光学路径受到硅片厚度限制的问题，同时单片集成避免了键合工艺，简化了工艺，具有工艺简单，结构尺寸小的特点，尤其满足了光谱仪小型化、低成本的应用要求。
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