[00308693]一种基于石墨烯/多壁碳纳米管/氧化锌复合材料的电阻型气体传感器及制作方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201510272072.6

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：吉林大学

所在地：吉林长春市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

摘要：一种具有室温气敏响应特性的石墨烯基电阻型气体传感器及其制作方法，属于气体传感器技术领域。是以单晶硅为衬底，采用热氧化法在单晶硅表面生成二氧化硅层；在二氧化硅层表面沉积3～5对叉指金电极，在叉指金电极上连接有引线，在二氧化硅层和叉指金电极表面涂覆有气体敏感薄膜，该气体敏感薄膜为石墨烯/多壁碳纳米管/氧化锌三元复合材料，薄膜的厚度为10～50μm；气体敏感薄膜接触待测气体前后，其电阻会发生变化，通过测量叉指金电极间电阻的变化，可以获得传感器的灵敏度。感器在室温下具有很高的响应灵敏度、快速的响应恢复速率和良好的响应可逆性，解决了氧化锌气体传感器通常需要在高温下才能工作的问题。

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