[00300919]一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置
交易价格：
面议
类型：
非专利
技术成熟度：
正在研发
交易方式：
完全转让
联系人：
厦门大学
所在地：福建厦门市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一、项目简介
一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有底座、防水 罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工 件夹具、温度传感器、无线接收模块和抛光液添加装置；防水罩绕设于底座上端周边；抛光 盘固于防水罩上端，底部设有涡状凹槽；电热丝嵌于涡状凹槽内，电热丝与温控器电连接， 温控器与计算机连接，弹力电磁条圈固于底座上表面，接收磁条圈固于抛光盘底面，弹力电 磁条圈与接收磁条圈的磁性相同，止浮轨固于底座上且压住弹力电磁条圈，传感器设于夹具 周边，传感器上设有无线传输模块，无线传输模块与设于计算机上的无线接收模块无线信号 连接，抛光液添加装置设于抛光盘侧边上方。二、技术成熟度
小试阶段（已完成实验室路线、方法验证）。三、应用范围
本发明涉及一种化学机械抛光设备，尤其是涉及一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置。四、投产条件和预期经济效益
主要设备及手段：底座、防水罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电 磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工件夹具、温度传感器、无线接收模块、抛光液添加装置。
效益分析：属于中型实验研究与开发设施，对超精密机械加工产业有很好的支撑作用。五、合作方式
合作开发、专利（实施）许可。
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