[00299814]微型集成式固体电解质环境监测气体传感器
交易价格：
面议
类型：
非专利
技术成熟度：
正在研发
交易方式：
完全转让
联系人：
西安交通大学
所在地：陕西西安市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一、项目简介随着工业化进程的加速推进，人类社会各方面的发展对化石燃料的消耗与日俱增，而由此产生的大气环境污染问题也愈发严重，对人类的生存和健康、自然生态环境造成极大的损害。基于固体电解质的气体传感器，结合先进的MEMS和镀膜技术，对于CO2、SO2等污染性气体浓度的实时监测、防治十分重要。项目以Li3PO4、Li3PO4-Li2SiO3薄膜固体电解质薄膜作为导电介质，研制CO2SO2等环境监测气体传感器。通过固体电解质薄膜的CO2、SO2气体传感器的响应原理分析，设计了集成式环境监测气体传感器，选择了合适的反应电极材料，结合MEMS薄厚膜工艺，采用热阻蒸发镀膜工艺沉积Li3PO4固体电解质薄膜，丝网印刷厚膜技术制备反应电极和加热电极，完成了集成式微型CO2、SO2气体传感器的研制、封装、测试，为工业应用奠定了基础。微型气体传感器可实现CO2和SO2气体的高精度监测，并具有体积小、功耗低、成本低的特点。图1封装的气体传感器图2批量化加工的气体传感器芯片--84--西安交通大学国家技术转移中心二、技术指标（性能参数）芯片尺寸
1.6mmx1.8mm封装方式
TO封装检测范围
CO2（100~5000ppm），SO2（1~200ppm）测量误差
±5%工作电压
2年三、市场前景及应用在诸多大气污染物中，CO2与SO2是引起气候变化和雾霾的主要污染源，其主要产生于各种金属的冶炼、石油化工产品的加工、工业及民用燃料的燃烧、各类机动车尾气的排放，对环境造成了严重的危害。由于此类污染性气体的危害迫在眉睫，因而对CO2、SO2气体的实时、快速、有效检测，以及根据检测结果采取相应防治控制措施非常有必要。由此可见，随着我国对环境保护治理的重视，将对高性能低成本的气体传感器具有紧迫而巨大的需求。四、技术成熟度概念验证原理样机□工程样机中试产业化可小批量生产微型气体传感器;已申请国家专利7项，其中授权4项。五、合作方式联合研发技术入股□转让授权（许可）面议
微信公众号
