[00298505]基于 CT 扫描图像的 MEMS 结构重构与检测方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 通过小试

专利所属地：中国

专利号：ZL201410027156.9

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：中国石油大学（华东）

所在地：山东青岛市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明提出了一种基于 CT 扫描图像的 MEMS 结构的三维重构与检测方法，以解决现有检测手段检测环境要求高、不能反应其三维形貌的问题，同时保证了 MEMS 的无损检测。本方法首先采用工业 CT 技术扫描得到 MEMS 器件的系列图像，然后进行图像处理并得到其体数据，根据体数据进行表面模型重建，得到 MEMS 器件的表面三角网格模型。然后对表面模型进行修复，识别并提取其特征信息将器件模型的不同特征划分为不同的特征块，最后对划分好的特征块进行拟合，提取特征参数并导出数据接口文件。通过以上技术手段，实现了 MEMS 结构的三维尺度结构的准确检测。

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