X为了获得更好的用户体验,请使用火狐、谷歌、360浏览器极速模式或IE8及以上版本的浏览器
 常见问题
欢迎来到宁夏技术市场,请 登录 | 注册
尊敬的 , 欢迎光临!  [会员中心]  [退出登录]
成果
成果 专家 院校 需求
APP下载 微信公众号
当前位置: 首页 >  科技成果  > 详细页

[00287254]基于紫外光刻技术的反射式光栅的制作方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201710321577.6

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 南京邮电大学

所在地:江苏南京市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
分享
|
收藏
|

技术详细介绍

本发明公开了一种基于紫外光刻技术的反射式光栅的制作方法,是一种高效,高精度,高分辨率的光栅制作方法,该光栅以二氧化硅为基底,在基底上设有多个平行的楔形反射式面,整个光栅表面镀银,以提高反射效果。制作过程中主要应用了倾斜光刻来制作楔形反射面,通过控制掩模板的大小和形状可以制作任意尺寸的光栅器件。由于单次生产出来的是大型的光栅,可以通过切割获得成片光栅,从而达到单片光栅的利益最大化。同时,紫外光刻法不会产生鬼线和伴线,不存在刻划光栅刻槽的微观不规则或者毛刺缺陷。即便在加工过程中出现了这些缺陷,在后面的质量检测中也可以将不合格片丢弃,保留合格的光栅出厂。

Copyright © 2018    宁夏回族自治区生产力促进中心    版权所有    宁ICP备11000235号-3    宁公网安备 64010402000776号

网站访问量:               网站在线人数:0              技术支持:科易网