[00287166]三指交错结构的电容式微波功率传感器

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201710312055.X

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：南京邮电大学

所在地：江苏南京市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明公开了一种三指交错结构的电容式微波功率传感器，以砷化镓为衬底，在衬底上设计有共面波导传输线、在线电容式微波功率传感器，在线电容式微波功率传感器包括在衬底上交错地固定着三个MEMS悬臂梁，其中两个MEMS悬臂梁下表面镀有绝缘层氮化硅，中间的MEMS悬臂梁无绝缘层，作为由两个无绝缘层MEMS悬臂梁形成电容的电介质。当微波信号在共面波导传输时，会在无绝缘层的MEMS悬臂梁上产生一个静电力使梁产生位移，而在两个镀有绝缘层的MEMS悬臂梁上产生的静电力不足以使其下拉；引起两个镀有绝缘层的MEMS悬臂梁间形成的电容的介电常数改变，由电容检测电路检测出电容的变化量，从而推出微波信号的功率幅值。

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