[00287164]基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统及方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201610567136.X

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：南京邮电大学

所在地：江苏南京市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明公开了一种基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统，该悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统以砷化镓为衬底，在衬底上设计有共面波导传输线和四个不同长度的MEMS悬臂梁：当待测微波功率较小时，由于静电力较小，只有较长的MEMS悬臂梁臂下拉；当待测微波功率较大时，由于静电力较大，可以使较短的MEMS悬臂梁臂下拉。本发明还公开了一种基于悬臂梁级联结构的高精度微波功率检测系统的检测方法，根据MEMS悬臂梁的电容变化量与微波功率是一一对应的关系，就可以测量出微波信号的功率。本发明系统结构简单，测量幅度范围大、不消耗直流功率，且便于集成；不仅可以扩展检测功率的动态范围，而且还可以提高检测功率的精度。

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