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[00274770]一种金属硫属化合物薄膜的制备方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201310424108.9

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 中南大学

所在地:湖南长沙市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  本发明涉及一种金属硫属化合物薄膜的制备方法(专利号201310424108.9);属于光电薄膜材料制备技术领域。本发明采用一种电沉积与化学反应结合的制备方法,首先将导电衬底作为工作电极置于电解质溶液中,用电沉积的方法制备所需要的单组元金属或合金薄层薄膜,随后将衬底浸入含硫属阴离子的前驱体溶液,上述薄膜在溶液中发生反应生成一层目标化合物薄膜,然后将得到的薄膜进行预退火处理。重复以上步骤,控制循环次数得到所需厚度的化合物薄膜预制层,最后将得到的预制层进行热处理得到金属硫属化合物薄膜。本发明解决了现有技术中薄膜成分、厚度不易控制,薄膜干燥退火时容易开裂的难题。本发明所需设备简单,制备成本低廉,所得产品性能优良等优点,便于实现产业化生产。

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