交易价格： 面议
类型： 发明专利
技术成熟度： 正在研发
专利所属地：中国
专利号：201410371134.4
交易方式： 完全转让 许可转让 技术入股
联系人： 沈阳大学
所在地：辽宁沈阳市
一种用于化学气相沉积液体原料汽化供给装置与使用方法（专利号201410371134.4），其供给装置包括储液罐、电子秤、汽化室、供气系统、管路、调节阀、截止阀、真空泵和真空计；其使用方法包括：1、预备阶段；2、流量调节阶段；3、稳恒供气阶段；4、停机阶段。本发明与现有的液体原料汽化供给系统相比，该装置能够准确地实时测量液体原料汽化蒸汽的流量，并能根据CVD生产系统中过程工艺参数的变化，实时调节控制上料阀的开度，使液态原料的汽化流量可调、可控，保持均匀，从而为化学汽相沉积（CVD）生产设备提供有利的液态原料汽化供给装置。
成果推荐 需求推荐 评估专家推荐 评估机构推荐
Copyright © 2018 宁夏回族自治区生产力促进中心 版权所有 宁ICP备11000235号-3 宁公网安备 64010402000776号
联系电话：0951-5064080 网站访问量： 网站在线人数：0 技术支持：科易网 
微信公众号
