[00266259]自检测硅微机械电容式麦克风及其制备方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN200910095918.8

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：浙江工业大学

所在地：浙江杭州市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

自检测硅微机械电容式麦克风，包括敏感膜和底板、硅基体；敏感膜的周边固定在硅基体上；底板上分布有通气孔，底板通过连接座固定在硅基体上，底板位于敏感膜的正上方，底板和敏感膜之间有空气隔层；各支板分别通过连接支座固定在硅基体上，支板分别通过连接支座与一引线端连接；敏感膜上设有敏感膜引线端。制备所述的麦克风的方法是：制备处三层的敏感膜；在敏感膜上干法刻蚀开引线窗口；制备形成空气隔层的空间；制备底板；在硅基体上腐蚀出声波传入通道；释放出敏感膜和第一支板、第二支板、第三支板。本发明具有能实现电学自检测、结构简单、成本低廉、有利于工业化大生产的优点。

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