[00258672]一种基于射频放电的正负离子源

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201710687473.7

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：科小易

所在地：福建厦门市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

　　本发明公开了一种基于射频放电的正负离子源

　　正负离子源包括管体，管体中部连通有进气管；管体上缠绕有放电线圈，放电线圈依次与匹配网络和射频电源电连接；管体的一端与第一盖板密封连接，第一盖板通过绝缘介质连接有正离子引出栅极；正离子引出栅极与直流电源的负极电连接；管体的另一端与第二盖板密封连接，第二盖板通过侧壁与第三盖板密封连接，第三盖板通过绝缘介质连接有负离子引出栅极；负离子引出栅极与直流电源的正极电连接。本正负离子源发明可以使正离子与电子及负离子可以被同时分别引出，解决了背板溅射出的粒子污染离子源及背板发热严重的问题。

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