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[00258592]一种用于薄膜微流控芯片键合的PDMS基片底座制作方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201711439170.X

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 科小易

所在地:福建厦门市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明提供了一种用于薄膜微流控芯片键合的PDMS基片底座制作方法,属于微机电系统和微流控芯片领域。利用已经加工成型的聚合物薄膜基片作为模具,采用浇注成型工艺,将脱气后的PDMS混合溶液浇注到聚合物薄膜基片的背面,在室温下保持固化48小时,直接将聚合物薄膜基片的背面结构复制到PDMS表面上,制作PDMS基片底座。本发明不需要测量薄膜基片背面的几何形状和尺寸,不需要昂贵的加工设备,制作过程简单、周期短、成本低。

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