[00258502]一种用于低压射频放电的石英桶密封结构

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201810005112.4

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：科小易

所在地：福建厦门市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

登录后向技术服务商咨询

咨询平台客服试试在线客服吧发布技术需求服务免费

技术详细介绍

本发明公开了一种用于低压射频放电的石英桶密封结构，包括石英桶、金属真空室盖板和金属密封顶板，金属真空室盖板上设有第一凹槽，金属密封顶板上设有第二凹槽，石英桶的一端插在第一凹槽内，石英桶的另一端插在第二凹槽内，石英桶的端面与第一凹槽和第二凹槽之间分别设有一矩形密封圈，石英桶的两端分别设有一O形密封圈，O形密封圈分别通过一卡接部抵在金属真空室盖板或金属密封顶板的端面上，金属真空室盖板和金属密封顶板内均设有冷却液循环结构，冷却液循环结构能够冷却石英桶插入到第一凹槽和第二凹槽中的端部。本发明的密封结构可以实现高功率射频放电时装置的连续稳态运行。

成果推荐需求推荐评估专家推荐评估机构推荐

更多>

上海平正评估有限公司

服务分类：资产评估、无形资产评...

进入主页
连城资产评估有限公司

服务分类：资产评估、无形资产评...

进入主页

更多>