[00251414]一种固体电解质SO₂气体传感器及其制作方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN200910219073.9

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：西安交通大学

所在地：陕西西安市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明涉及SO2气体传感器领域，公开一种固体电解质SO2气体传感器及其制作方法。该固体电解质SO2气体传感器，包括硅基片，依次设置在硅基片上面的SiO2绝缘层、导电膜、Sn/SnF2薄膜、LaF3固体电解质薄膜和Pt网，所述导电膜连出第一引线，Pt网连出第二引线。本技术方案的中，所述导电膜为Al膜；其制作方法采用MEMS(微机电系统)技术，工艺简单，实现方便。

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