[00251343]一种评价Cu系金属纳米多层膜材料附着性能的方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201510044188.4

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：西安交通大学

所在地：陕西西安市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明涉及了一种评价Cu系金属纳米多层膜材料附着性能的方法，该方法采用层片状薄膜试样作为测试样品，采用应变速率可控的纳米压痕仪试验装置，采用纳米压入仪，压头为三棱锥金刚石压头,控制应变速率为0.2s‑1,压入深度为薄膜膜厚的80％或以上，测量在加载结束后压痕截面处膜基间界面裂纹的长度，即可计算出金属纳米多层膜材料的附着能。本方法可以简单、方便、快捷地评价纳米多层膜的附着能，为解决纳米多层膜薄膜附着能力的评估提供了有效途径。

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