[00251139]一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201710404698.7

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：西安交通大学

所在地：陕西西安市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

一种环形电阻式MEMS液体角度陀螺仪，包括通过UV胶黏剂封装的上基板和下基板，上基板的下表面有环形的沟槽通道，沟槽通道的侧壁设有疏水层；下基板的上表面包括两条平行的环形电阻，环形电阻末端连接有金属引线板；环形沟槽内设有水银液滴；封装过程中，控制环形电阻处于上基板沟槽通道的内部且处于沟槽通道的中间位置，本发明通过水银液滴在不同倾角下的位置变化，来导通不同长度的环形电阻得到变化的电阻信号，实现对角度的连续测量。

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