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[00251107]一种LC‑SLM误差补偿方法及其非球面面型检测方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:CN201610865086.3

交易方式: 完全转让 许可转让 技术入股

联系人: 西安交通大学

所在地:陕西西安市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明涉及光学非球面精密测量领域,涉及了一种基于LC‑SLM误差补偿和数字相移技术的非球面面型检测方法。利用ZEMAX软件光学追迹得到光学系统的理想波像差,采用一系列正交Zernike多项式表征其波像差,得到对应的计算全息图,并加载到LC‑SLM上,利用残差迭代法,降低了LC‑SLM曲率误差和边缘场效应等因素带来的影响,提高了LC‑SLM的波前模拟精度,结合起补偿作用的会聚透镜和数字相移及干涉条纹分析技术,大大提高了测量的动态范围,可以实现对大非球面度面型的实时检测。

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