[00251107]一种LC‑SLM误差补偿方法及其非球面面型检测方法
交易价格:
面议
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201610865086.3
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
西安交通大学
所在地:陕西西安市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
本发明涉及光学非球面精密测量领域,涉及了一种基于LC‑SLM误差补偿和数字相移技术的非球面面型检测方法。利用ZEMAX软件光学追迹得到光学系统的理想波像差,采用一系列正交Zernike多项式表征其波像差,得到对应的计算全息图,并加载到LC‑SLM上,利用残差迭代法,降低了LC‑SLM曲率误差和边缘场效应等因素带来的影响,提高了LC‑SLM的波前模拟精度,结合起补偿作用的会聚透镜和数字相移及干涉条纹分析技术,大大提高了测量的动态范围,可以实现对大非球面度面型的实时检测。