[00250148]可实现平动和转动的三自由度压电驱动调节装置及方法
交易价格:
面议
类型:
发明专利
技术成熟度:
正在研发
专利所属地:中国
专利号:CN201710041022.6
交易方式:
完全转让
许可转让
技术入股
联系人:
西安交通大学
所在地:陕西西安市
- 服务承诺
- 产权明晰
-
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
- 如实描述
技术详细介绍
一种可实现平动和转动的三自由度压电驱动调节装置及方法,该装置由X方向平动机构、Y方向平动机构、Z方向偏转机构以及载物平台组成;X方向平动机构和Y方向平动机构原理类似,均对称布置菱形位移放大机构、杠杆位移放大机构和导向机构,X方向平动机构和Y方向平动机构通过基座凹槽垂直安装;当X方向平动机构的一对压电堆在大小相等方向相反的电压下,平台沿X方向平动;当Y方向平动机构的一对压电堆在大小相等方向相反的电压下,平台沿Y方向平动;Z方向偏转机构位于底部,由安装基板和两个带预压力的压电堆组成,当Z方向偏转机构内的压电堆在大小和方向相同的电压下输出Z方向偏转;本发明由于导向机构的存在,使得平台沿X方向的平动和沿Y方向的平动解耦;且整个装置无机械摩擦,可实现三自由度高精度独立调节。