[00230870]光掩模集成微塑型方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：CN201610846947.3

交易方式： 完全转让许可转让技术入股

联系人：中国科学院深圳先进技术研究院

所在地：广东深圳市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明提供一种简单低成本、可提高生产效率的光掩模集成微塑型方法，其包括如下步骤：S101、在显微镜载玻片的表面涂覆形成牺牲层，并进行烘焙；S102、向微型模具的型腔内滴入光刻胶，并盖上冷却后的显微镜载玻片；S103、对微型模具先进行曝光前预加热，即在50℃～100℃范围内选择多个温度由低至高地依次烘烤；S104、让微型模具在紫外线光源照射下曝光，使型腔内的纳米复合材料固化；S105：对微型模具进行曝光后烘烤，即在50℃～100℃范围内选择多个温度由低至高地依次烘烤；S106、将微型模具冷却到室温后，从模具中脱模，移走载玻片和三维微结构，并除去未交联的薄膜；S107、冲洗三维微结构，并进行干燥。

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