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[00142846]基于微结构栅绝缘层的压力传感器及其制备方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:201310397699.5

交易方式: 许可转让

联系人: 中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

所在地:江苏苏州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

本发明涉及一种基于微结构栅绝缘层的压力传感器包括依次设置的基底、有源层、栅绝缘层和柔性基底,其中,所述基底和有源层之间设置有源电极、漏电极,所述柔性基底和栅绝缘层之间设置有栅电极,所述栅绝缘层包括绝缘层以及所述绝缘层上的聚二甲基硅氧烷(PDMS)微结构,所述有源层为交联的半导体化合物纳米晶。本发明压力传感器包括栅电极、源电极、漏电极、栅绝缘层、有源层,其中,所述有源层为交联的有机半导体层材料的纳米晶,其通过有机半导体分子之间的相互作用力形成。上述压力传感器具有可溶液化制备、柔性、高灵敏性等特征。

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