[00142637]自旋微波振荡器及其制备方法

交易价格： 面议

类型： 发明专利

技术成熟度： 正在研发

专利所属地：中国

专利号：201310256808.1

交易方式： 许可转让

联系人：中科院苏州纳米技术与纳米仿生研究所

所在地：江苏苏州市

服务承诺: 产权明晰; 资料保密
对所交付的所有资料进行保密; 如实描述

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技术详细介绍

本发明提供一种自旋微波振荡器的制备方法，包括如下步骤：在氧化铝模板上制备贯穿所述氧化铝模板正面和背面的通孔，并利用磁控溅射或电子束蒸发在所述氧化铝模板背面制作导电层；采用三电极沉积系统在所述通孔内从下至上依次沉积底电极层、磁性多层膜、顶电极层；其中，所述磁性多层膜包括从下至上依次沉积的第一磁性层、非磁性隔离层、第二磁性层。本发明还提供这种自旋微波振荡器的结构。本发明的方法可以自下而上自组装高度有序的均一性很好的自旋微波振荡器阵列，并且可以同一通孔中沉积多个纳米自旋微波振荡器，形成含有多个纳米自旋微波振荡器的纳米线，增大了器件的输出功率，具有广泛的使用范围。

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