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[00141514]集成电路芯片视觉对准方法

交易价格: 面议

类型: 发明专利

技术成熟度: 正在研发

专利所属地:中国

专利号:200410060835.2

交易方式: 许可转让

联系人: 华中科技大学

所在地:湖北武汉市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
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技术详细介绍

  集成电路芯片视觉对准方法


  集成电路芯片视觉对准方法,属于集成电路芯片封装方法,针对现有方法局限,实现芯片上键合点快速准确对准。本发明在引线框架和芯片上分别选取设计样本点,图像处理求出样本点测量坐标值,根据图像不变矩检测出有缺陷的芯片;解得芯片位置变换参数再由其得出计算坐标;用计算坐标减去测量坐标得到样本点的非线性误差;当误差超过允许值时,选其旁边的样本点作为替代,直到误差值小于允许值,最后将键合点排列坐标换算成键合头工作台位移坐标。本发明可修正贴片工艺中的误差,剔除坏芯片与计算并行处理,提高了效率,实现了准确高效的对准,适用于芯片键合、检测装置,在半导体、液晶显示、薄膜磁头等现代制造业中有广泛用途。


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