交易价格： 面议
类型： 发明专利
技术成熟度： 正在研发
专利所属地：中国
专利号：200410061274.8
交易方式： 许可转让
联系人： 华中科技大学
所在地：湖北武汉市
本发明公开了一种柔性光学传感器的制作方法,步骤为:①光刻成形;②热熔;③离子刻蚀;④淀积保护层;⑤在正面淀积一层Cr或Al金属,光刻、刻蚀出金属图形,接着,在金属层上旋转涂覆聚酰亚胺,再进行固化;⑥在背面深刻蚀硅,直至硅底减薄至60-80μm,形成硅岛结构,最后再涂覆聚酰亚胺,并固化,即得到所需的柔性光学传感器。本发明的关键在于采用曲面微透镜技术制作柔性光学传感器。这种技术所制作的微传感器兼具柔性和强度,且与硅工艺相兼容。本发明制作的光学传感器能同时测量目标距离和方位角、并具有自动绕行或跨越障碍物的能力,在智能微型探测系统、智能机器人视觉系统等方面有广泛的应用空间。
Copyright © 2018 宁夏回族自治区生产力促进中心 版权所有 宁ICP备11000235号-3 宁公网安备 64010402000776号
联系电话：0951-5064080 网站访问量： 网站在线人数：0 技术支持：科易网 
微信公众号
