X为了获得更好的用户体验,请使用火狐、谷歌、360浏览器极速模式或IE8及以上版本的浏览器
欢迎来到宁夏技术市场,请 登录 | 注册
尊敬的 , 欢迎光临!  [会员中心]  [退出登录]
 常见问题  关于我们
成果
成果 专家 院校 需求
微信公众号
当前位置: 首页 >  科技成果  > 详细页

[00135630]大面积并联高密度感应耦合等离子体源

交易价格: 面议

类型: 实用新型专利

技术成熟度: 可以量产

专利所属地:中国

专利号:zl200620069635.8

交易方式: 完全转让 完全转让

联系人: 苏州大学

所在地:江苏苏州市

服务承诺
产权明晰
资料保密
对所交付的所有资料进行保密
如实描述
分享
|
收藏
|

技术详细介绍

本专利公开了一种大面积并联高密度感应耦合等离子体源,包括射频电源、匹配网络、外置天线和真空腔体等。采用了创新的感应天线的绕制方法,提高了射频功率的耦合效率,增强了等离子体密度,改善了其放电均匀性,设计与制作简单,成本低廉。   技术指标:   在700W射频功率的条件下,Ar等离子体密度超过1011cm-3,表面处理的均匀性好于85%。   应用领域:   各种样品表面的快速等离子体真空处理、薄膜生长等。

Copyright © 2018    宁夏回族自治区生产力促进中心    版权所有    宁ICP备11000235号-3    宁公网安备 64010402000776号

网站访问量:               网站在线人数:0              技术支持:科易网